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          光栅真空紫外·软x线领域层状复制衍射光栅

          HOLOGRAPHIC LAMINAR GRATINGS FOR VACUUM ULTRAVIOLET REGION

          图25 层状衍射光栅AFM 图片
          刻线数: 1200条/mm
          刻线深度: 15nm

          岛津采用离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法,加工出可适用于真空紫外及软x线领域使用的层状式衍射光栅。
          此款光栅刻线的截面形状如上图所示,是矩形形状,是在合成石英的基底上直接刻线加工而成,特别适合斜入射
          光源的要求。

          概念图

          图24 矩形衍射光栅刻线断面形状的概念图

          检测例

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