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          光学元件软X线领域层状复制衍射光栅

          LAMINAR TYPE REPLICA DIFFRACTION GRATING FOR SOFT X-RAY REGION

          AFM刻线图

             是一款适用于软x射线波段下的校正像差型凹面层状复制衍射光栅。通过离子刻蚀技术及全息曝光的工艺方法,可实际应用于像差校正型的平场多色仪上。

          特点

          • 高效率(层状结构)
          • 低高次光(层状结构)
          • 低杂散光(全息曝光法)
          • 高分辨率(非球面波曝光法)
          • 配合阵列型检测器,可直接作为分光器使用

          标准品规格

          类别 不等距曲线刻线型复制衍射光栅(注)
          基底材质 与BK-7相当
          外形尺寸公差(mm) ±0.2(W)×±0.2(H)
          中心厚度公差(mm) ±0.5(T)
          有效范围(mm) 除周边5mm以外的所有区域
          刻线数公差 ±0.5%
          蒸镀 金(Au)
          划痕 80-50(MIL-O-13830A为准)
          使用温度 0℃以上 50℃以下
          • 注:光栅的刻线是在树脂上完成的。
          • ※结露是造成光学特性显著劣化的重要原因,应避免结露。

          标准品

          型号 刻线数 波长  
          范围
          检测器
          长度
          设计mount参数 外形尺寸 镀膜
          N λ1~λ2 L r α r1' β1 r2'  β2 ri' Βi  W×H×T 材质
          (条/mm) (nm) (mm) (mm) (deg.) (mm) (deg.) (mm) (deg.) (mm) (deg.) (mm)
          30-001 2400 1~6 23.5 237 88.65 235.6 85.81 238.5 80.17 235 90.0 50×30×10 Au
          30-002 1200 5~20 25.3 237 87 236.7 83 241.1 77.1 235 90.0 50×30×10 Au
          30-003 2400 1~7 26.8 236.7 88.6 235.8 85.8 239.5 79.4 235 90.5 50×30×10 Au
          30-004 2400 0.6~4 19.4 236.8 88.65 233.9 86.64 235.8 81.94 233.5 90.0 50×30×10 Au
          30-005 1200 3.5~8.5 11.1 237 87.07 234.8 83.98 236.2 81.3 233.5 90.0 50×30×10 Ni
          30-006 300 20-80 25.3 237.0 87.00 236.7 83.04 241.1 77.07 235.0 90.0 50×30×10 Au

          分光系统配置图

          外形图

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