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          分子泵

                  分子泵(Turbo Molecular Pump)主要用于为制造太阳能电池和半导体提供不可或缺的真空环境。岛津分子泵有着世界最高水准的排气能力,并且有一系列的产品可以满足不同的太阳能电池模组和硅晶片的工艺需求,随着市场的扩大,我们开发的脚步也从未停止。

          产品型号

          高吞吐量型

          ? 最大的排气流量
          ? 卓越的耐腐蚀性能
          ? 外形紧凑的控制器
          ? 应对生成物对策(选购件)
          ? 各种监测功能
          ? 网络接入对应
          ? 泵转速可调
          ? 消费电力削减
          ? 适用于各种规格
          ? 无需调整(泵电缆更换时,无需对控制器再次调整)
          ? 无需蓄电池

          广域型(03系列)

          ? 范围广且吞吐量大
          ? 支持数字电源
          ? 各种监测功能
          ? 可以进行网络连接
          ? 通过CE认证,SEMI S2认证以及NRTL认证

          电源一体型

          ? 外形紧
          ? 节省能源
          ? 无需安装电缆线或安装控制架
          ? 强化了抽气性能
          ? 无需外接电源

          复合轴承型

          ? 长耐久的轴承机理可以减少维护成本
          ? 可以和一个小型前级泵共同使用
          ? 可以任意选择安装方向

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